光波导传感芯片

♦ 倏逝波传感光波导芯片示意图

在玻璃基光波导芯片上加工传感部件，可加工的传感部件包括：

倏逝波光波导、马赫曾德(MZ)干涉结构、各种合波-分波结构、表面等离子共振结构，以及各种微槽、微孔等物理微纳加工结构。